1927年英國為了保護倫敦高層建筑的需要，在泰吾士河岸的巴特富安和班支賽德兩電廠（共120MW），首先采用石灰石脫硫工藝。據統計，1984年有SO2控制工藝189種，目前已超過200種。主要可分為四類：（1）燃燒前控制-原煤凈化（2）燃燒中控制-硫化床燃燒（CFB）和爐內噴吸收劑（3）燃燒后控制-煙氣脫硫（4）新工藝（如煤氣化/聯合循環系統、液態排渣燃燒器）其中大多數國家采用燃燒后煙氣脫硫工藝。煙氣脫硫則以濕式石灰石/石膏法脫硫工藝作為主流。
         自本世紀30年代起已經進行過大量的濕式石灰石/石膏法研究開發，60年代末已有裝置投入商業運行。ABB公司的第一套實用規模的濕法煙氣脫硫系統于1968年在美國投入使用。1977年比曉夫公司制造了歐洲第一臺石灰/石灰石石膏法示范裝置。IHI（石川島播磨）的首臺大型脫硫裝置1976年在磯子火電廠1、2號機組應用，采用文丘里管2塔的石灰石石膏法混合脫硫法。三菱重工于1964年完成第一套設備，根據其運轉實績，進行煙氣脫硫裝置的開發。